Elektronenmikroskope projizieren einen feinen Elektronenstrahl auf ein Objekt und stellen ein Bild aus den Reflektionen her.

Die mit einem Rasterelektronenmikroskop erzeugten Bilder sind Abbildungen der Objektoberflächen und weisen im Vergleich zu Bildern, die mit lichtoptischen Durchlichtmikroskopen erzeugt werden, eine höhere Schärfentiefe auf. Diese Technologie macht es möglich, dreidimensionale Bilder mit bis zu zehn Nanometer Tiefe abzulichten.

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